发明名称 FORMATION OF INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH04313255(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19910104617 申请日期 1991.04.10
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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