| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04313256(A) |
申请公布日期 |
1992.11.05 |
| 申请号 |
JP19910077475 |
申请日期 |
1991.04.10 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MICOM SYST:KK |
发明人 |
UCHIYAMA TETSUO |
| 分类号 |
H01L21/312;H01L21/314;H01L21/768;H01L23/522 |
主分类号 |
H01L21/312 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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