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发明名称 FORMATION METHOD FOR INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH04313233(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19910104871 申请日期 1991.04.10
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TANAKA MASAAKI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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