TROCKENAETZVERFAHREN FUER EINE VERBINDUNGSSCHICHT,申请号DE19924214091-传众专利搜索

发明名称	TROCKENAETZVERFAHREN FUER EINE VERBINDUNGSSCHICHT
摘要
申请公布号	DE4214091(A1)	申请公布日期	1992.11.05
申请号	DE19924214091	申请日期	1992.04.29
申请人	MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	ISHIDA, TOMOAKI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号	H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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