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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04314334(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19910079418 申请日期 1991.04.12
申请人 NEC CORP 发明人 OKUMURA HIROYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/3205 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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