发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04314331(A) 申请公布日期 1992.11.05
申请号 JP19910106472 申请日期 1991.04.12
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIDA HISANORI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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