| 发明名称 |
PATTERN FORMING METHOD FOR PHOTO-SENSITIVE RESIN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04311960(A) |
申请公布日期 |
1992.11.04 |
| 申请号 |
JP19910079176 |
申请日期 |
1991.04.11 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
TAKAYAMA YOSHIHISA |
| 分类号 |
G03F7/26;G03F7/40;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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