发明名称 COMPOSITION FOR FORMING SILICA-BASED FLAT INSULATION FILM
摘要
申请公布号 JPH04311781(A) 申请公布日期 1992.11.04
申请号 JP19910164073 申请日期 1991.04.10
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人 HASHIMOTO AKIRA;ISHIKAWA TSUTOMU;NISHIMURA TOSHIHIRO
分类号 H01L21/316;C09D183/00;C09D183/02;C09D183/04;C09D185/00;H01L23/29;H01L23/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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