发明名称 Ion source and plasma generator
摘要
申请公布号 US3020431(A) 申请公布日期 1962.02.06
申请号 US19570697679 申请日期 1957.11.20
申请人 AMERICAN RADIATOR & STANDARD SANITARY CORPORATION 发明人 MARTINA EUGENE F.
分类号 H01J27/08;H05H3/06 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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