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发明名称
ETCHING METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号
US5160398(A)
申请公布日期
1992.11.03
申请号
US19900614137
申请日期
1990.11.16
申请人
SONY CORPORATION
发明人
YANAGIDA, TOSHIHARU
分类号
H01L21/302;H01J37/32;H01L21/3065;H01L21/311
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
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