发明名称 INSULATING FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号 JPH04311036(A) 申请公布日期 1992.11.02
申请号 JP19910075420 申请日期 1991.04.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SHIMIZU AKIO
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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