| 发明名称 |
DRY-ETCHING METHOD OF AMORPHOUS SILICON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04311032(A) |
申请公布日期 |
1992.11.02 |
| 申请号 |
JP19910076081 |
申请日期 |
1991.04.09 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKANO TAKAO;YORITOMI YOSHIFUMI;KOSHIMO TOSHIYUKI;NAKATANI MITSUO;TAKAHASHI MIKIO |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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