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发明名称 METHOD FOR FORMING LANGMUIR-BLODGETT'S FILM AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH04310268(A) 申请公布日期 1992.11.02
申请号 JP19910101753 申请日期 1991.04.08
申请人 CANON INC 发明人 MATSUDA HIROSHI;ARUBUREHITO OTSUTOO
分类号 B05D1/20;H01L21/208 主分类号 B05D1/20
代理机构 代理人
主权项
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