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发明名称 MANUFACTURE OF II-VI COMPOUND SEMICONDUCTOR THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH04309240(A) 申请公布日期 1992.10.30
申请号 JP19910075082 申请日期 1991.04.08
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KAWANAMI HIROSHI
分类号 H01L21/365 主分类号 H01L21/365
代理机构 代理人
主权项
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