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发明名称
THIN FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04309216(A)
申请公布日期
1992.10.30
申请号
JP19910075376
申请日期
1991.04.08
申请人
NISSAN MOTOR CO LTD
发明人
SHINOHARA TOSHIAKI
分类号
H01L21/20;H01L21/02;H01L21/336;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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