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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04308078(A) 申请公布日期 1992.10.30
申请号 JP19910070197 申请日期 1991.04.03
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ITO HIROMOTO
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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