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发明名称 OPTICAL INTEGRATED ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04307984(A) 申请公布日期 1992.10.30
申请号 JP19910072683 申请日期 1991.04.05
申请人 NEC CORP 发明人 SHIMIZU JUNICHI
分类号 H01L21/66;G02F1/313;H01S5/00;H01S5/026 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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