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发明名称 X-RAY EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04307923(A) 申请公布日期 1992.10.30
申请号 JP19910100482 申请日期 1991.04.05
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 KURIHARA KENJI;KINOSHITA HIROO;MIZOTA TSUTOMU;HAGA TSUNEYUKI;TAKEUCHI NOBUYUKI;TORII YASUHIRO
分类号 G03F7/20;H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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