| 发明名称 |
OPERATING METHOD AND OPERATING DEVICE FOR CARRIER BOX |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04308123(A) |
申请公布日期 |
1992.10.30 |
| 申请号 |
JP19910071648 |
申请日期 |
1991.04.04 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KONDO FUMIO;SHINOZUKA SHUHEI;ONO KOJI;IKEDA YUKIO |
| 分类号 |
B65G49/00;B65G49/07;F24F7/06;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677;H01L21/68 |
主分类号 |
B65G49/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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