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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH04307940(A) 申请公布日期 1992.10.30
申请号 JP19910072749 申请日期 1991.04.05
申请人 HITACHI LTD 发明人 OTSUKA FUMIO
分类号 H01L21/8222;H01L21/331;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/73 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
主权项
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