发明名称 FORMATION OF INTERCONNECTION
摘要
申请公布号 JPH04307938(A) 申请公布日期 1992.10.30
申请号 JP19910072767 申请日期 1991.04.05
申请人 SONY CORP 发明人 HIGA MITSUHIRO
分类号 H01L21/3213;H01L21/3205 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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