发明名称 INTERCONNECTION METHOD OF FINE MULTILAYER-STRUCTURE SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04307736(A) 申请公布日期 1992.10.29
申请号 JP19910097907 申请日期 1991.04.04
申请人 CANON INC 发明人 IKEDA TSUTOMU
分类号 H01L21/28;C23C18/31;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址