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发明名称
INTERCONNECTION METHOD OF FINE MULTILAYER-STRUCTURE SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号
JPH04307736(A)
申请公布日期
1992.10.29
申请号
JP19910097907
申请日期
1991.04.04
申请人
CANON INC
发明人
IKEDA TSUTOMU
分类号
H01L21/28;C23C18/31;H01L21/3205;H01L23/52
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
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