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发明名称 NEGATIV ARBEITENDER PHOTOKOPIERLACK ZUR ERZEUGUNG VARIABLER SEITENWANDNEIGUNGEN VON RESISTSTRUKTUREN
摘要
申请公布号 DD301233(A7) 申请公布日期 1992.10.29
申请号 DD19890334519 申请日期 1989.11.13
申请人 HUMBOLDT-UNIVERSITAET ZU BERLIN DIREKTORAT F. FORSCHUNG 发明人 BENDING JUERGEN;BORNEMANN INGE;GRUETZNER GABI;HELM SIEGRUN;MISCHKE HELGE;SAUER ERIKA
分类号 H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/312 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
主权项
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