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发明名称
VAPOR ETCHING METHOD
摘要
申请公布号
JPH04306832(A)
申请公布日期
1992.10.29
申请号
JP19910098137
申请日期
1991.04.03
申请人
NEC CORP
发明人
ARAI KENICHI
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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