ION BEAM BLANKING APPARATUS AND METHOD

摘要

Appareil pour faisceaux ioniques qui permet la suppression du faisceau en utilisant une ouverture par laquelle le faisceau passe pendant les périodes de déblocage et comporte des éléments (14, 15) destinés à défléchir le faisceau pendant la suppression si bien que le faisceau est dévié de l'ouverture. Des électrodes (42, 44, 50) situées entre l'élément d'ouverture (16) et les éléments de déflexion (14, 15) génèrent un potentiel qui dépasse l'énergie cinétique de particules chargées émises au niveau de l'élément d'ouverture du fait que les ions heurtent l'élément d'ouverture pendant la suppression. On empêche donc des particules chargées émises au niveau de l'élément d'ouverture de heurter les éléments déflecteurs de faisceau, ce qui réduit le craquage des hydrocarbures, l'accumulation d'isolant et l'accumulation de charge sur les éléments déflecteurs. La stabilité du faisceau s'en trouve donc améliorée. Des particules chargées émises au niveau de l'élément d'ouverture sont également renvoyées à l'élément d'ouverture si bien que l'on obtient une mesure précise du courant de faisceau ionique en mesurant le flux de courant vers l'élément d'ouverture.