发明名称 INTERFEROMETER ZUR WINKELMESSUNG.
摘要
申请公布号 DE3781837(D1) 申请公布日期 1992.10.29
申请号 DE19873781837 申请日期 1987.06.12
申请人 ZYGO CORP., MIDDLEFIELD, CONN., US 发明人 SOMMARGREN, GARY E., MADISON CONNECTICUT 06443, US
分类号 G01B11/26;G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B11/26
代理机构 代理人
主权项
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