| 发明名称 |
PROXIMITY-EFFECT CORRECTING METHOD FOR ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04307723(A) |
申请公布日期 |
1992.10.29 |
| 申请号 |
JP19920018377 |
申请日期 |
1992.01.08 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
ABURAHAMU ZUBUI MEIRI;DOBU RAMU |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/302;H01J37/317 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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