| 摘要 |
<p>Die in einem modernen Kammsondenprojektor verwendete Steuereinheit zur Erzeugung einer Vielzahl individuell austastbarer Elektronensonden besteht aus einer Aperturblende und einer Ablenkpatte, die mehr als 1000 Mikrokondensatoren (MK) aufweist. Die zum Betrieb der Steuereinheit erforderlichen Signale müssen auf engstem Raum durch eine Kammerwand (KW) ins Vakuum geleitet und an die der Ablenkung der Elektronensonden dienenden Mikrokondensatoren (MK) herangeführt werden. Dies geschieht erfindungsgemäß mit Hilfe einer in die Kammer hineinragenden und vakuumdicht gehalterten Leiterplatte (LP) oder Vielschichtplatine. Als Halterung kommt insbesondere ein an der Kammerwand (KW) befestigter Flansch (FL) in Betracht, in den die Leiterplatte (LP) vakuumdicht eingegossen ist.</p> |
