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发明名称 ETCHING BACK PROCESS OF CONDUCTIVE FILM
摘要
申请公布号 JPH04306829(A) 申请公布日期 1992.10.29
申请号 JP19910070192 申请日期 1991.04.03
申请人 SONY CORP 发明人 SHINOHARA KEIJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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