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发明名称 VORRICHTUNG ZUR GERADLINIGKEITSMESSUNG
摘要
申请公布号 DE4213428(A1) 申请公布日期 1992.10.29
申请号 DE19924213428 申请日期 1992.04.23
申请人 NIKON CORP.;RESEARCH DEVELOPMENT CORP. OF JAPAN, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISHIDA, AKIRA, TSUCHIURA, IBARAKI, JP
分类号 G01B11/30;G01B11/27 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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