SIGNAL LEADTHROUGH INTO VACUUM

摘要

Le module de commande d'un graveur à projection moderne par faisceaux d'électrons en forme de peigne, destiné à produire un très grand nombre de faisceaux électroniques que l'on peut supprimer individuellement, comporte un diaphragme d'ouverture et une platine de déflection qui comprend plus de 1000 microcondensateurs (MC). Le signaux nécessaires pour actionner le module de commande doivent être acheminés dans un vide, en occupant le moins d'espace possible, en passant par la paroi de la chambre (PC). Ils doivent également être amenés aux microcondensateurs (MC) servant à la déflection des faisceaux électroniques. D'après l'invention, ce processus est possible grâce à la présence d'une carte de circuits imprimés (CI) ou platine multicouche faisant saillie dans la chambre et fixée de manière étanche au vide. Cette fixation est réalisée notamment grâce à une bride (BR) assujettie à la paroi de la chambre (PC), dans laquelle la carte de circuits imprimés (CI) est scellée de manière étanche au vide.