发明名称 AUTOMATIC MACRO OPTIMUM SEQUENCING METHOD
摘要
申请公布号 JPH04304656(A) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 JP19910348955 申请日期 1991.12.06
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 MAAKU DEBITSUDO BORIGAA;BURUUSU ARAN KAUFUMAN
分类号 H01L21/82;G06F17/50 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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