发明名称 Positive-working radiation-sensitive composition and radiation-sensitive recording material produced therewith.
摘要 Es wird ein positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch beschrieben mit a) einer Verbindung, die unter Einwirkung von aktinischer Strahlung eine starke Säure bildet, b) einer Verbindung mit mindestens einer durch Säure spaltbaren C-O-C- oder C-O-Si-Bindung und c) einem in Wasser unlöslichen, in wäßrig-alkalischen Lösungen löslichen oder zumindest quellbaren polymeren Bindemittel, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Verbindung (a) ein 1-Sulfonyloxy-2-pyridon ist.
申请公布号 EP0510440(A1) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 EP19920106136 申请日期 1992.04.09
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 LOHAUS, GERHARD, DR.;SPIESS, WALTER, DR.;PAWLOWSKI, GEORG, DR.
分类号 G03F7/00;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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