发明名称 |
Positive-working radiation-sensitive composition and radiation-sensitive recording material produced therewith. |
摘要 |
Es wird ein positiv arbeitendes strahlungsempfindliches Gemisch beschrieben mit a) einer Verbindung, die unter Einwirkung von aktinischer Strahlung eine starke Säure bildet, b) einer Verbindung mit mindestens einer durch Säure spaltbaren C-O-C- oder C-O-Si-Bindung und c) einem in Wasser unlöslichen, in wäßrig-alkalischen Lösungen löslichen oder zumindest quellbaren polymeren Bindemittel, das dadurch gekennzeichnet ist, daß die Verbindung (a) ein 1-Sulfonyloxy-2-pyridon ist.
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申请公布号 |
EP0510440(A1) |
申请公布日期 |
1992.10.28 |
申请号 |
EP19920106136 |
申请日期 |
1992.04.09 |
申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
LOHAUS, GERHARD, DR.;SPIESS, WALTER, DR.;PAWLOWSKI, GEORG, DR. |
分类号 |
G03F7/00;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/039;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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