Method and device for measuring the electrical potential of a sample with a radiation probe.

摘要

Ordnet man einen elektrooptischen Kristall (PK) unmittelbar oberhalb einer geladenen Probe (PR) an, so kann das von der Probe (PR) ausgehende elektrische Streufeld (SF) in den Kristall (PK) eindringen und in diesem Doppelbrechung induzieren. Das Probenpotential (&phis;(x)) läßt sich daher durch Messung der Polarisation einer den Kristall (PK) im Streufeldbereich durchsetzenden Lasersonde (LA) bestimmen. Das Ausgangssignal (I(x)) der der Messung der Polarisation dienenden Detektoreinheit (P2, DT) ist allerdings starkt verrauscht. Es wird daher vorgeschlagen, einen mit dem Kristall (PK) verbundenen Glasträger (TR) in hochfrequente Schwingungen zu versetzen und damit den Abstand des Kristalls (PK) von der Probe (PR) periodisch zu ändern. Infolgedessen besitzt auch das Ausgangssignal (I (x)) der Detektoreinheit (P2, DT) eine hochfrequente Komponente, deren Amplitude (U) rauscharm gemessen und aufgezeichnet werden kann. <IMAGE>