发明名称 WASHER
摘要
申请公布号 JPH04305926(A) 申请公布日期 1992.10.28
申请号 JP19910045510 申请日期 1991.02.19
申请人 SHIMADA PHYS & CHEM IND CO LTD 发明人 SHIMADA KIYOSHI
分类号 B08B3/10;B08B3/08;H01L21/304 主分类号 B08B3/10
代理机构 代理人
主权项
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