| 发明名称 |
DUAL MAGNETRON/CATHODIC ARC VAPOUR SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2255105(A) |
申请公布日期 |
1992.10.28 |
| 申请号 |
GB19920008673 |
申请日期 |
1992.04.22 |
| 申请人 |
* ION COAT LIMITED |
发明人 |
ALLAN * MATTHEWS;PETER ALLAN * ROBINSON |
| 分类号 |
C23C14/32;C23C14/34;H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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