FORMATION OF THIN FILM,申请号JP19910091192-传众专利搜索

发明名称	FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号	JPH04304367(A)	申请公布日期	1992.10.27
申请号	JP19910091192	申请日期	1991.03.29
申请人	SONY CORP	发明人	YOSHIDA MIKIO
分类号	C23C14/34	主分类号	C23C14/34
代理机构		代理人
主权项
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