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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04303546(A) 申请公布日期 1992.10.27
申请号 JP19910091432 申请日期 1991.03.29
申请人 NEC CORP 发明人 UENO KAZUHIKO
分类号 C23C14/48;H01J37/04;H01J37/05;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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