| 发明名称 |
DETECTING APPARATUS FOR DEFECT OF SAMPLE SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04303751(A) |
申请公布日期 |
1992.10.27 |
| 申请号 |
JP19910067504 |
申请日期 |
1991.04.01 |
| 申请人 |
RICOH CO LTD |
发明人 |
SAKAKI TAIZO;BANBA NOBUO;TADA TAKESHI;SAKIDA RYUJI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01J1/02;G01J1/04;G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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