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发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE FOR SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH04302138(A) 申请公布日期 1992.10.26
申请号 JP19910066558 申请日期 1991.03.29
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 ISHIDA SADANORI;KOMURA YUKIO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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