发明名称 ULTRAVIOLET IRRADIATION APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH04300648(A) 申请公布日期 1992.10.23
申请号 JP19910089219 申请日期 1991.03.29
申请人 IWASAKI ELECTRIC CO LTD 发明人 KAMEYAMA TORU
分类号 B01J19/12;B05C9/12;G03F7/20 主分类号 B01J19/12
代理机构 代理人
主权项
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