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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04299846(A) 申请公布日期 1992.10.23
申请号 JP19910064953 申请日期 1991.03.28
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MORIKADO MUTSUKI;KITAURA YOSHIAKI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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