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发明名称 FORMING METHOD FOR SILICON DIAPHRAGM
摘要
申请公布号 JPH04299872(A) 申请公布日期 1992.10.23
申请号 JP19910065067 申请日期 1991.03.28
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 SATO MASAHIKO;YAMANAKA MINEO;YAMAGATA MICHIAKI
分类号 H01L21/306;H01L29/84 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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