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摘要
申请公布号
JPH0466628(B2)
申请公布日期
1992.10.23
申请号
JP19840008630
申请日期
1984.01.23
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
UMIGA NOBUYOSHI;IYASU KYOTARO
分类号
C23G1/00;B08B7/00;H01L21/304
主分类号
C23G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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