发明名称 INSTRUMENT FOR MEASURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH04299548(A) 申请公布日期 1992.10.22
申请号 JP19910064213 申请日期 1991.03.28
申请人 NEC CORP 发明人 SAITO HITOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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