NEGATIV ARBEITENDES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH UND DAMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL,申请号DE19914112965-传众专利搜索

发明名称	NEGATIV ARBEITENDES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES GEMISCH UND DAMIT HERGESTELLTES STRAHLUNGSEMPFINDLICHES AUFZEICHNUNGSMATERIAL
摘要
申请公布号	DE4112965(A1)	申请公布日期	1992.10.22
申请号	DE19914112965	申请日期	1991.04.20
申请人	HOECHST AG, 6230 FRANKFURT, DE	发明人	LOHAUS, GERHARD, DR., 6233 KELKHEIM, DE;SPIESS, WALTER, DR., 6110 DIEBURG, DE;PAWLOWSKI, GEORG, DR., 6200 WIESBADEN, DE
分类号	G03F7/00;G03F7/004;G03F7/028;G03F7/038;H01L21/027	主分类号	G03F7/00
代理机构		代理人
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