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发明名称
MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR920009745(B1)
申请公布日期
1992.10.22
申请号
KR19890009055
申请日期
1989.06.29
申请人
TOSHIBA CO., LTD.
发明人
YOSHIKAWA, KUNIYOSHI
分类号
H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/18;H01L21/205
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
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