| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR EVALUATING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04299550(A) |
申请公布日期 |
1992.10.22 |
| 申请号 |
JP19910063586 |
申请日期 |
1991.03.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
MIYASHITA MORIYA;KAGEYAMA MOKUJI;HIRATSUKA HACHIRO |
| 分类号 |
G01B11/30;C30B33/00;G01N21/88;G01N21/93;H01L21/66;H01S3/00 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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