发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04299564(A) 申请公布日期 1992.10.22
申请号 JP19910089535 申请日期 1991.03.27
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KITAGAWA NORIO;SHIMIZU EI;ITAGAKI SHIN
分类号 H01L21/20;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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