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发明名称 ARC SOURCE MACROPARTICLE FILTER
摘要
申请公布号 AU1441292(A) 申请公布日期 1992.10.21
申请号 AU19920014412 申请日期 1992.03.25
申请人 COMMONWEALTH SCIENTIFIC AND INDUSTRIAL RESEARCH ORGANISATION 发明人 PHILIP JAMES MARTIN;ROGER PRICE NETTERFIELD;TERENCE JOHN KINDER
分类号 C23C14/02;C23C14/08;C23C14/16;C23C14/32;H01J37/04;H01J37/08;H01J37/317;H01J37/36 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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